王韬 ， 万江 ， 张万里 . SOI压力传感器高压失效分析 ［J］. 中国测试 ， 2021 ， 47 （ 6 ）： 149 - 155 . doi: 10.11857/j.issn.1674-5124.2020100127 http://dx.doi.org/10.11857/j.issn.1674-5124.2020100127

WANG T ， WAN J ， ZHANG W L . Analysis of high pressure failure of SOI pressure sensor ［J］. China Measurement & Test ， 2021 ， 47 （ 6 ）： 149 - 155 . （in Chinese） . doi: 10.11857/j.issn.1674-5124.2020100127 http://dx.doi.org/10.11857/j.issn.1674-5124.2020100127

WISE K D . Silicon microsystems for neuroscience and neural prostheses ［J］. IEEE Engineering in Medicine and Biology Magazine ， 2005 ， 24 （ 5 ）： 22 - 29 . doi: 10.1109/memb.2005.1511497 http://dx.doi.org/10.1109/memb.2005.1511497

LIU C . Recent developments in polymer MEMS ［J］. Advanced Materials ， 2007 ， 19 （ 22 ）： 3783 - 3790 . doi: 10.1002/adma.200701709 http://dx.doi.org/10.1002/adma.200701709

KHOSHNOUD F ， DE SILVA C W . Recent advances in MEMS sensor technology–biomedical applications ［J］. IEEE Instrumentation & Measurement Magazine ， 2012 ， 15 （ 1 ）： 8 - 14 . doi: 10.1109/mim.2012.6145254 http://dx.doi.org/10.1109/mim.2012.6145254

黄漫国 ， 邹兴 ， 郭占社 ， 等 . 高温大压力传感器研究现状与发展趋势 ［J］. 测控技术 ， 2020 ， 39 （ 4 ）： 1 - 5， 32 . doi: 10.19708/j.ckjs.2020.04.001 http://dx.doi.org/10.19708/j.ckjs.2020.04.001

HUANG M G ， ZOU X ， GUO ZH SH ， et al . Research status and development trend of high temperature pressure sensor ［J］. Measurement & Control Technology ， 2020 ， 39 （ 4 ）： 1 - 5， 32 . （in Chinese） . doi: 10.19708/j.ckjs.2020.04.001 http://dx.doi.org/10.19708/j.ckjs.2020.04.001

伞海生 ， 宋子军 ， 王翔 ， 等 . 适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器 ［J］. 光学 精密工程 ， 2012 ， 20 （ 3 ）： 550 - 555 . doi: 10.3788/ope.20122003.0550 http://dx.doi.org/10.3788/ope.20122003.0550

SAN H SH ， SONG Z J ， WANG X ， et al . Piezoresistive pressure sensors for harsh environments ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2012 ， 20 （ 3 ）： 550 - 555 . （in Chinese） . doi: 10.3788/ope.20122003.0550 http://dx.doi.org/10.3788/ope.20122003.0550

赵玉波 ， 赵玉龙 . 用于恶劣环境的耐高温压力传感器 ［J］. 光学 精密工程 ， 2009 ， 17 （ 6 ）： 1460 - 1466 .

ZHAO L B ， ZHAO Y L . High temperature pressure sensor for harsh environment ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2009 ， 17 （ 6 ）： 1460 - 1466 . （in Chinese）

李闯 ， 赵立波 ， 张磊 ， 等 . 基于SOI的E型结构MEMS压力芯片优化设计与制造 ［J］. 传感器与微系统 ， 2020 ， 39 （ 4 ）： 73 - 76 .

LI CH ， ZHAO L B ， ZHANG L ， et al . Optimal design and fabrication of E-type structural MEMS SOI pressure sensor chip ［J］. Transducer and Microsystem Technologies ， 2020 ， 39 （ 4 ）： 73 - 76 . （in Chinese）

王永洪 ， 张明义 ， 高强 ， 等 . 微型硅压阻式压力传感器研制 ［J］. 传感器与微系统 ， 2017 ， 36 （ 11 ）： 106 - 108 .

WANG Y H ， ZHANG M Y ， GAO Q ， et al . Research and fabrication of micro silicon piezoresistive pressure sensor ［J］. Transducer and Microsystem Technologies ， 2017 ， 36 （ 11 ）： 106 - 108 . （in Chinese）

聂萌 ， 杨恒山 . 一种大量程压力传感器的结构优化设计与仿真分析 ［J］. 传感技术学报 ， 2017 ， 30 （ 12 ）： 1834 - 1838 . doi: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.12.009 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1004-1699.2017.12.009

NIE M ， YANG H SH . A structure optimized design and simulation analysis of a wide range pressure sensor ［J］. Chinese Journal of Sensors and Actuators ， 2017 ， 30 （ 12 ）： 1834 - 1838 . （in Chinese） . doi: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.12.009 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1004-1699.2017.12.009

蒋庄德 ， 赵玉龙 . 硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试 ［J］. 功能材料与器件学报 ， 2001 ， 7 （ 4 ）： 365 - 368 . doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.008 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.008

JIANG ZH D ， ZHAO Y L . Research and characteristic measurement of micro silicon pressure sensor ［J］. Journal of Functional Materials and Devices ， 2001 ， 7 （ 4 ）： 365 - 368 . （in Chinese） . doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.008 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.008

牛松杰 . MEMS压阻式压力传感器技术研究 ［D］. 苏州 ： 苏州大学 ， 2016 .

NIU S J . MEMS Research on Piezoresistive Pressure Sensor Technology ［D］. Suzhou ： Soochow University ， 2016 . （in Chinese）

王银 ， 张加宏 ， 李敏 ， 等 . 新型硅压阻式压力传感器的设计、制作与性能补偿研究 ［J］. 电子器件 ， 2019 ， 42 （ 6 ）： 1371 - 1377 .

WANG Y ， ZHANG J H ， LI M ， et al . Research on design， fabrication and performance compensation of novel silicon piezoresistive pressure sensor ［J］. Chinese Journal of Electron Devices ， 2019 ， 42 （ 6 ）： 1371 - 1377 . （in Chinese）

何洪涛 ， 王伟忠 ， 杜少博 ， 等 . 一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器 ［J］. 微纳电子技术 ， 2015 ， 52 （ 4 ）： 233 - 239， 255 .

HE H T ， WANG W ZH ， DU SH B ， et al . A novel MEMS piezoresistivity SiC high temperature pressure sensor ［J］. Micronanoelectronic Technology ， 2015 ， 52 （ 4 ）： 233 - 239， 255 . （in Chinese）

杨峻松 ， 谭晓兰 ， 刘珍妮 ， 等 . 硅压阻式传感器的优化分析 ［J］. 北方工业大学学报 ， 2011 ， 23 （ 3 ）： 29 - 36 . doi: 10.3969/j.issn.1001-5477.2011.03.006 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1001-5477.2011.03.006

YANG J S ， TAN X L ， LIU ZH N ， et al . Analysis of index of silicon piezoresistance micro pressure sensor ［J］. Journal of North China University of Technology ， 2011 ， 23 （ 3 ）： 29 - 36 . （in Chinese） . doi: 10.3969/j.issn.1001-5477.2011.03.006 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1001-5477.2011.03.006

李旺旺 ， 梁庭 ， 张迪雅 ， 等 . SOI压阻式压力传感器敏感结构的优化设计 ［J］. 仪表技术与传感器 ， 2016 （ 6 ）： 15 - 18 . doi: 10.3969/j.issn.1002-1841.2016.06.005 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1002-1841.2016.06.005

LI W W ， LIANG T ， ZHANG D Y ， et al . Optimization design of sensitive structure for SOI piezoresistive pressure sensor ［J］. Instrument Technique and Sensor ， 2016 （ 6 ）： 15 - 18 . （in Chinese） . doi: 10.3969/j.issn.1002-1841.2016.06.005 http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1002-1841.2016.06.005

肖婷 ， 刘波 ， 王新练 ， 等 . 含IPA的TMAH溶液对湿法腐蚀硅倒金字塔阵列微观形貌演化的研究 ［J］. 材料研究学报 ， 2011 ， 25 （ 5 ）： 495 - 499 .

XIAO T ， LIU B ， WANG X L ， et al . Studies on microstructure evolution of inverted pyramid-shaped arrays prepared by wet etching in TMAH solution containing IPA ［J］. Chinese Journal of Materials Research ， 2011 ， 25 （ 5 ）： 495 - 499 . （in Chinese）

李玉欣 ， 陈德勇 ， 王军波 ， 等 . 基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器 ［J］. 光学 精密工程 ， 2011 ， 19 （ 12 ）： 2927 - 2934 . doi: 10.3788/ope.20111912.2927 http://dx.doi.org/10.3788/ope.20111912.2927

LI Y X ， CHEN D Y ， WANG J B ， et al . H type micro-machined resonant pressure sensor based on self-stopped etch technique ［J］. Opt. Precision Eng. ， 2011 ， 19 （ 12 ）： 2927 - 2934 . （in Chinese） . doi: 10.3788/ope.20111912.2927 http://dx.doi.org/10.3788/ope.20111912.2927